二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9256202 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种蚀刻器/asher，设计用于执行晶圆处理任务时的高精度和自动化。TEL Formula的高级功能确保了创建高质量组件的可重复过程。平台由多区真空室、发射器和隔离通道驱动，为各种气体的蚀刻和灰化应用提供了精确、可调的条件。该蚀刻器/灰化器能够在高达800°C的温度和高达5.7 torrs的压差下处理直径达200 mm的晶片。它还使用专有的控制逻辑系统（Control Logic System，CLS）软件，精确控制晶圆处理环境，实时监控数据。TOKYO ELECTRON Formula具有高生产率和薄膜均匀性,维护和供应负荷低.计算机采用四层体系结构构建,可根据客户的应用程序和流程要求进行配置。此外，Formula可以在多个进程之间切换，允许用户根据需要自定义其蚀刻和灰化应用程序。TEL/TOKYO ELECTRON Formula还有一个人机界面（HMI），能够自动控制蚀刻和灰化参数以及系统状况的自我诊断。TEL ETLINE系列能够快速、经济高效地蚀刻和粉刷各种目标,包括金属、电介质、多晶硅和有机物。该系列采用高强度石英腔室,可实现卓越的工艺重复性和稳定性,并通过集成工艺控制系统（PCS）套件实现自动化工艺控制。ETLINE系列专为所有蚀刻和灰化过程提供改进的过程重复性、重复性、吞吐量和统一性而设计。TEL Formula是一个最先进的蚀刻器/asher,它为创建高质量的组件提供了一致且可重复的过程。该平台具有先进的功能和技术,可确保精确的晶圆处理,同时还提供高生产率、薄膜均匀性和低维护成本。ETLINE系列专为蚀刻和灰化应用而设计,提供了改进的过程重复性、吞吐量和统一性。所有这些特性结合在一起，使得TOKYO ELECTRON Formula成为需要精确蚀刻和灰化应用的用户的绝佳选择。