二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263869 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula代表为半导体工业设计的一系列高性能蚀刻和灰烬系统。这些系统旨在创建超精确的功能,并满足业界严格的法规要求。TEL Formula是一种通用、健壮、可靠的蚀刻和灰分应用工具。该设备可提供高达± 0.001"的精度水平,即使是要求最苛刻的基板也能提供可靠的性能。TOKYO ELECTRON Formula利用一系列技术创造出最佳的工艺结果。热交换器和波浪回流技术保证了工艺温度和晶圆地形的均匀.该系统配备等离子体源控制电子束蒸发，提供高度一致的加热和蚀刻操作。电子冲击电离（EI）离子源技术提供了最高的材料去除和沉积速率。Formula还提供了先进的过程控制功能，包括自动通道切换、RF/DC电源控制、基板温度控制以及特定于过程的配方。该股还全面配备了数据记录和监测能力，简化了文档和分析。该机还可以升级到包含多个配方，提供更大的灵活性和精确度。TEL/TOKYO ELECTRON Formula利用先进的材料并具有先进的功能,包括先进的温度控制、蚀刻的石英crucibles、与HD兼容的控制器、控制气流和压力的软件以及压力剖析模型。其创新的设计保证了工艺条件的统一、工艺的出色稳定性和高效的运行。该工具用途广泛，为几乎任何基材和应用提供多种蚀刻和灰分溶液。TEL Formula是为易于使用而设计的,使其成为缺乏资源或人员来操作更大资产的实验室或生产设施的理想解决方桉。它的模块化设计允许用户根据需要自定义和扩展其功能。该型号还设计为维护简单,维护效率低,停机时间为零。TOKYO ELECTRON Formula是符合IEEE 1149.6-和SECS II-的，确保绝对的过程控制。该设备采用优化的硬件和软件，以最大限度地提高系统吞吐量，确保高工艺产量和高产品质量。其先进的工艺能力、可靠的性能和较低的维护要求相结合，使得Formula成为各种蚀刻和灰烬应用的理想选择。