二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263872 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9263872
晶圆大小: 12"
Nitride furnace, 12". Process: DCS SiN
TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种蚀刻器/asher,一种湿化学和干蚀刻工艺,适用于各种各样的产品和底物。它是一种广泛使用的材料去除和改性方法,包括半导体、陶瓷和其他基板。这种蚀刻器是化学反应和干蚀刻的结合。湿化学蚀刻过程涉及使用酸、碱和化学催化剂从底物中溶解靶向材料。这一过程是可逆的,因为蚀刻完成后可以中和或去除蚀刻化学物质。蚀刻过程发生在室温下,导致使用的能量比其他蚀刻过程少。干蚀刻工艺利用气态形式的化学蚀刻剂在较高的温度下从基板上去除材料。这些蚀刻剂常包括蚀刻气体溷合物如Cl2、CxFy、CHF3和CO2,同时使用Ar、O2和N2等气体协助蚀刻过程。这一过程也是可逆的,因为蚀刻化学物质可以在完成后在受控环境中被中和或去除。湿蚀刻和干蚀刻的结合可用于在从基材中去除材料时创造高精度。TEL公式利用这两种方法来提供不同应用所需的精确蚀刻级别。TOKYO ELECTRON Formula精密切割、凋刻、抛光表面的能力使其成为多种底物的有益工艺。这一工艺已被用于生产半导体、印刷电路板、医疗元件和通信元件。这款蚀刻器/asher的精确蚀刻工艺也有助于节省时间和金钱,因为蚀刻结果一致且干净。此外,由于材料的蚀刻是在原地进行的,这一过程还产生毒性较小的废物。总体而言,Formula是一种可靠的蚀刻器/asher,适用于许多基材。湿式和干式蚀刻技术结合起来,产生了非常准确的结果,并采用了快速和经济高效的工艺。此外,这种蚀刻器/灰化器对环境安全,产生的有毒废物极少,并通过在室温下进行蚀刻来保持能量。
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