二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263883 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是专门为处理半导体晶圆而设计的蚀刻器/asher。该机器是由TEL有限公司和其他多家公司合作开发的。它具有高容量、多加载设备以及具有高级跟踪和控制选项的高度可定制的用户界面。该系统的ASher（高级亚半蚀刻器）部分提供了一个蚀刻室，最多可有20个石英晶片并行处理。蚀刻过程不会影响晶片的温度，从而允许蚀刻和灰化过程在同一腔室中进行。蚀刻室还提供端点检测，用于精确的蚀刻控制。此外,在会议厅中的可编程过程允许针对特定任务进行进一步的自定义。这台机器还配备了一个先进的跟踪装置，可以自动跟踪和控制晶圆。这使用户能够轻松地监视蚀刻和灰化过程。这台机器也是高度可定制的，可以根据用户的喜好进行微调。跟踪工具还包括手动操作和晶圆移除选项。TEL Formula的用户界面设计得非常直观，提供了简单易用的所有可用蚀刻和灰化参数。它还允许多个同时进程在同一屏幕上显示；这允许用户一次监视和控制多个批次。该机器设计为用户友好且可高度定制。建议将其用于研究和开发，以及用于生产级晶圆制造的可靠性和易用性。先进的用户界面，以及高度可定制的轨道资产，使得机器非常通用，因此适合任何蚀刻和灰化的要求。