二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287525 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种蚀刻器/asher，由TEL Ltd制造制造。它用于对需要特定表面光洁度的各种材料进行高精度蚀刻。它提供了各种工业应用，如薄膜沉积、介电蚀刻和化学机械抛光（CMP）所需的卓越蚀刻精度和性能。TEL公式由具有特定内表面光洁度的腔室组成。其设计目的是提供均匀的气体扩散和最小的壁影响化学蚀刻过程。腔室内部是大功率光源、基板支架、气体/化学喷射设备、排气系统和控制器。光源照亮基板并创建所需的图样，而气体/化学注入单元提供蚀刻过程所需的成分。排气机负责在蚀刻过程中保持安全清洁的环境，方法是将蚀刻过程中产生的任何烟雾或颗粒抽走。控制器协调整个过程，监控光强度、气压、温度等变量，以确保精确蚀刻。TOKYO ELECTRON Formula是高精度蚀刻应用的完美工具，因为它能够提高蚀刻精度和吞吐量。控制器提供了广泛的控制设置和参数,使用户能够根据自己的特定要求自定义其蚀刻过程。腔室的开放式结构，加上均匀的气体扩散，确保了整个蚀刻表面的均匀性，提高了工艺的效果。公式是一个可靠的蚀刻器/灰化器，因为它提供了所有必要的组件，以实现精确的蚀刻和精加工。