二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287527 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula（或蚀刻器/asher）是一种工业级、批量生产、化学机械平面化机，用于半导体等相关行业。它是一种坚固可靠的设备，能够实现几乎任何材料的平面化，包括金属间屏障层、电介质、多层金属互连、透明导电膜、碳纳米管等等。TEL Formula Etcher/Asher通过使用化学机械平面化来工作，这涉及到同时应用化学力和物理力来达到平坦的表面。为此，该系统采用高速化学反应，去除和分解表面层的稀薄部分，以便将其平整。化学蚀刻与先进的抛光技术相结合，以确保实现清洁、抛光的表面。TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher是一个用途广泛、功能广泛的单元。它配备了机器人系统和自动化维护流程，使其能够一次运行多条生产线。该机器还可以配置用于设置和过程,从标准的平面化操作和常规过程监视到实现更高精度所需的更高级的应用程序。此外，Formula 蚀刻器/asher支持多种材料和蚀刻化学。可使用CF和离子铣削等几种工艺来选择在各种应用中实现最佳剖面结果所需的参数和化学方法。蚀刻后处理也可用于需要额外表面修改的应用。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher是一种非常先进的工具，非常适合批量生产。其耐用的构造和先进的加工能力使其成为各种应用的理想选择，从表面平面化到先进的介电沉积和钝化。结合其综合控制和仪表，是半导体及相关行业的理想机器。