二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300651 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula（TEF）是一种高精度蚀刻/asher，用于生产半条件底物和其他敏感薄膜应用。TEF提供了无与伦比的准确性和稳定性,使其成为要求更高的蚀刻和粉刷应用的理想工具。TEF 蚀刻/asher具有持续可调的蚀刻速率，产生线宽最小化的超细分辨率。它结合了最先进的精确度和长期可靠的蚀刻工艺，提供精确和可重复的蚀刻和灰化结果。TEF 蚀刻/Asher有多种尺寸和功能,旨在满足任何基板和蚀刻/Asher要求。它可以连接到标准清洁室设置并安装在其中,以便于维护和操作蚀刻/灰化器。TEF还配备了自动粉末沉积设备，能够精确沉积致敏粉末，从而提高蚀刻精度和结果。TEF 蚀刻/asher由无尘空气轴承提供动力，可与电化学合金活性蚀刻剂一起使用，通常用于半导体应用。它还具有不锈钢腔室，可确保不断蚀刻/灰化，并可根据需要加压或降压。TEF可以处理各种蚀刻/灰化工艺参数，从而实现不同的蚀刻和灰化结果。TEF 蚀刻/asher还有一个视觉系统，它可以准确地监测多个蚀刻/ashing过程的顺序，提高吞吐量和准确性。该机由可编程运动控制器控制，为蚀刻和灰化过程提供极高的精度和灵活性。一个集成的报警单元监视过程条件，在偏离标准参数的情况下可以关闭机器。对于基材的精密蚀刻和灰化，TEF蚀刻/灰化器是理想的选择。其卓越的性能和可靠性使其成为许多半导体和薄膜应用的首选蚀刻/粉碎机。TEF凭借其无与伦比的精确度、在标准洁净室中的轻松安装以及自动粉末沉积工具,为蚀刻/粉末处理需求提供了高效可靠的解决方桉。