二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300652 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种在半导体工业中使用的蚀刻器/asher。此蚀刻器/灰化器非常适合光刻和蚀刻应用。该机可用于蚀刻铝、硅、多晶硅等多种材料。它还装有一个湿蚀刻室，能够更精确和更清洁的蚀刻结果。TEL公式配备了电子束源以及化学气相沉积，或CVD，腔室。电子束源提供了一束电子束，可以用来分解材料。这在蚀刻细腻图桉时特别有用，因为它的精确和细腻的性质。CVD腔室允许将材料沉积到所选择的基板上。这在半导体工业中需要精确的层来形成器件时很有用。TOKYO ELECTRON Formula由数位控制设备（DCS）控制。该系统允许操作员对产生干净蚀刻结果所需的参数进行编程。这样的参数包括束电流水平、束大小、电压、暴露时间、气体压力、流量和气体成分。它还有一个光学发射光谱（OES），帮助监测腔室环境，同时使用扫描电子显微镜（SEM）来评估蚀刻结果。使用一系列测试和控制,使公式保持在最佳工作状态。用于检查设备的测试包括目视检查、电压测量、注入测试以及温度和真空检查。然后对机器进行校准，以确保它按照工厂规格运行。TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种用于半导体器件制造的强大蚀刻器/灰化器。该工具提供的精确蚀刻和沉积能力使得能够制造出精确和干净的高质量设备。先进的数字控制资产和广泛的测试和检查进一步确保了最佳工作条件和一致的结果。这使得TEL Formula成为最可靠、效率最高的蚀刻器/ashers之一。