二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300653 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种为基材加工而设计的蚀刻/asher机器。本机采用反应性离子蚀刻（RIE）和化学蒸气蚀刻（CVD）工艺进行蚀刻等基材工艺。TEL Formula 蚀刻器/asher结合两种蚀刻技术，达到最大效果。第一种是RIE，使用感应耦合等离子体（ICP）蚀刻基板。ICP是一种高效的蚀刻技术,可以根据所需的特定模式进行定制。RIE技术用于创建诸如沟槽和圆柱的模式。第二种是化学蒸气蚀刻（CVD），是一种干蚀刻工艺。这个过程也是高效的，可以量身打造出精确的蚀刻图桉。CVD蚀刻通常用于稀释层和创建高集成电路的透基通孔（TSV）。TOKYO ELECTRON Formula Etcher/Asher设计为精确控制蚀刻过程。它使用一系列参数来控制诸如压力、温度、时间和功率等蚀刻过程。这允许精确蚀刻和更好的过程重复性。为了材料相容性，Formula 蚀刻器/asher可以与硅、石英等多种基材配合使用。它还可以与氯化物、氟化物、烷烃等一系列前体一起工作。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher提供了高度自动化。这种自动化使流程可以在无人值守的情况下以最小的干预程度执行。自动化过程（如远程控制和过程计划）可将处理时间减少50%。总体而言，TEL Formula 蚀刻器/asher是执行蚀刻和其他基材加工任务的可靠而精确的系统。它提供了一系列蚀刻技术、高度自动化以及与各种基材和前体的兼容性。这使得它成为蚀刻和其他基材工艺的热门选择。