二手 TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-I #9285730 待售

TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-I
ID: 9285730
Dry etchers Substrate size: 680 mm x 880 mm.
TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-I是一款先进的半自动蚀刻器/asher,专为蚀刻铜、钨、铝、金、不锈钢等薄膜建筑材料而设计。该蚀刻器提供出色的过程控制和更高的吞吐量。它提供高精度和一流的蚀刻质量。该蚀刻器带有一个操作员友好的显示面板,可方便地访问所有工艺参数。此外,该设备还配备了自动清洗机构,以减少过度蚀刻和污染。蚀刻器还配备了用于蚀刻小细节图桉和特点的大功率激光系统。它能够在轴向、径向和XY平面三个不同方向进行蚀刻。TEL HS-800-I采用气体溷合蚀刻技术,具有溷合不同气体溷合物的能力,以优化每种薄膜材料的工艺参数。该蚀刻器还具有集成电源,可进行精确的激光输出调整和工艺调整。TOKYO ELECTRON HS-800-I还设计有高精度聚焦光学器件和精确的舞台运动控制。这可以实现准确和可重复的定位,并克服了手动对准和校准的需要。此外,该单元还提供动态温度控制,有助于保持均匀的蚀刻轮廓。HS-800-I配备了直观的人机界面,提供清晰的操作员指导和自动化的过程控制。直观的命令、显示和反馈允许简单的进程初始化和操作。此外,机器还配备了安全联锁装置,以防止过度的高功率激光曝光。总之,TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-I是一款先进的半自动蚀刻器,提供高精度和一流的蚀刻质量。它配备了强大的激光光学元件和高精尖的运动控制、操作参数和动态温度控制。TEL HS-800-I是一种用于蚀刻薄膜建筑材料的可靠、高性能的工具,是工程师和实验室工作人员的理想工具。
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