二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P2 #9285736 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P2是一种适合各种晶圆处理需求的高精度直列蚀刻/asher设备。该系统采用低压蚀刻室，能够在大面积基板上实现极均匀的蚀刻和灰化，精度高，可重复性高。TEL HT-800-P2单元将用于蚀刻和灰化的大功率ECR等离子体源与多个排气惰性气体通过集成阀集成在同一腔室中。集成干式真空泵可以快速排出化学气体。蚀刻器/灰化器机器在广泛的应用中提供了准确的过程，包括晶圆背面清洁、蚀刻、退火和薄膜灰化。该工具还具有从10mT到1000mT的广泛工作压力,包括超低压真空和低压过程,允许进行广泛的蚀刻和灰化过程。其集成的高功率电源还能够对基板电压进行精确控制，从而在各种基板类型上实现精密蚀刻的高蚀刻选择性。该资产还具有精确的高性能基板卡盘，用于精确和可重复的晶圆定位和拆卸。TOKYO ELECTRON HT-800-P2模型除了具有多用途的加工能力外,还具有先进的安全性和性能保障。集成的双区域安全互锁设备可快速检测故障情况,并在发生这种情况时关闭等离子体源,包括在冷却操作期间。设计了可靠的快速反应系统，以确保紧急情况下的安全运行，并使设备处于最佳状态。HT-800-P2 蚀刻器/asher机器是一种可靠且通用的结果驱动过程工具,可满足各种微加工需求。其精确的过程控制和高效的安全工具确保了在最苛刻的条件下的最佳性能和最高的可靠性。该资产还与其他工具高度兼容，以进一步提高其流程的多功能性和成本效益。