二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P4 #9285738 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P4是为半导体器件制造行业设计的高端蚀刻和灰化半导体加工设备。TEL HT-800-P4旨在利用高级数字控制提供世界级的精度和准确性。该系统采用了以"热端"和"冷端"泵为基础的真空技术，允许快速、方便地更改过程，不会损失精度。"热端"泵能在一个周期内对高达4X4英寸的基板进行微调蚀刻和灰化。此外,TOKYO ELECTRON HT-800-P4还采用了一种专有的氧掺杂技术,以增强精密控制。该单元的硬件控制平台还包括可重复、准确处理的自紧卡盘机构。自拧紧卡盘确保了可靠和可重复的结果，这对于生产应用尤其重要。HT-800-P4用途广泛，可配置用于各种基材尺寸、材料和工艺。它能够蚀刻和灰化多达20种不同的材料，包括硅、玻璃、塑料和金属。此外,机器还可以容纳12英寸大小的基板。TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P4配有确保加热和冷却一致的多区样品板。板块有六个温带，每个温带都有独立的温度控制能力。由于其特点,TEL HT-800-P4可以重现配方并实现批对批一致性。此外,它还具有多语言控制功能,使工程师能够快速、准确地对其处理配方进行编程。这样可以确保蚀刻和灰化过程的最大一致性和可重复性。TOKYO ELECTRON HT-800-P4具有广泛的加工能力,非常适合用于制造先进的半导体器件。其高精度和可重复性,加上易用性,使其成为生产和开发应用程序的首选。此外,该工具的多功能功能也使其成为研发的绝佳选择。