二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-R4 #9285739 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-R4是一种高精度、高通量的蚀刻/加工机器，设计用于半导体元件的大批量制造。该机器有两个加工室和一个用于蚀刻/沉积和晶圆处理的机器人臂。工艺室配备了种类繁多的蚀刻/加工室，每个室都有自己独特的能力，包括电子束蒸发、高密度等离子体蚀刻、离子植入、化学等离子体沉积和溅射。机器人臂可以被编程为处理加工室内的晶圆运动，使其对大规模、大体积的加工效率高。这台机器具有可变吞吐量,每小时最多可处理50个晶圆.它采用三层监测系统，监测工艺室内的温度和压力，以及沉积/蚀刻速率，确保准确和一致的结果。此外，它还有一个优化注入气体的光冷系统。该机器由一个电源供电,该电源可提供高达500瓦的功率。此外,它还通过GUI用户界面和增强的程序指令降低了软件的复杂性,从而减少了对编程的需求。TEL HT-800-R4 蚀刻器/asher专为高精度、高吞吐量的过程而设计,具有低维护成本和最小停机时间的特点。其稳健的整体设计使其适合于半导体制造的广泛应用，其灵活性使其在大批量生产运行中表现出色。