二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT910 #293621624 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT910是一种高通量的蚀刻器/asher，设计用于高精度蚀刻和灰化。TEL HT910在200W进行蚀刻，最多500W次进行灰化，其真空室为48升，可加工较大的基板。TOKYO ELECTRON HT910的过程气体溷合器可以在给定的范围内精确控制多达四种气体，不需要购买多个单元。HT910的设置也很简单。用户界面允许完全控制蚀刻和灰化过程，包括过程参数、温度监测和大气控制。TEL/TOKYO ELECTRON HT910的设计具有自动清洁功能,无需手动清洁即可自动完成清洁过程。此功能通过延长腔室寿命和消除与清洁相关的人为错误来提高工艺可靠性。TEL HT910还拥有一个达到低废气纯度水平的中压减压设备，这使其能够满足《清洁空气法》的排放要求。TOKYO ELECTRON HT910在蚀刻和灰化方面具有极好的重复性和可靠性。系统采用平行光波辐射，以确保蚀刻过程的均匀性。HT910也能加工不同厚度的基材，结果相似。这使得它非常适合工业环境。安全方面，TEL/TOKYO ELECTRON HT910配备了全方位的安全功能，包括气体净化单元、排气罩和闭环气体感应机。闭环气体传感器工具检测有害气体并激活排气罩以提供额外保护。这样可以确保环境对用户和正在处理的基板都是安全的。TEL HT910 蚀刻器/asher是为高精度蚀刻和粉刷基板而设计的。它具有较高的吞吐量，具有较大的真空室，可用于较大的基板加工，并具有提高工艺可靠性的自清特性。TOKYO ELECTRON HT910还提供了出色的重复性和可靠的效果,并提供了一系列的安全功能。