二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293587758 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一种蚀刻器，或称asher，用于底物蚀刻、升空和金属化应用。TEL Indy-A-L基于先进的高通量低温蚀刻技术。与许多传统蚀刻技术相比,此技术可实现高蚀刻选择性、优越的长宽比、改进的粘合强度和均匀的层覆盖。TOKYO ELECTRON Indy-A-L配备了先进的光学器件，包括高分辨率CCD相机、涡轮真空泵以及提供最佳可控处理条件的等离子源。这种光学和光源的组合使蚀刻和/或金属化任务的过程控制和可变性得到加强。Indy-A-L可以加工尺寸高达8 "x 6"的基板，这使得它非常适合大型、多点制造应用。该系统能够处理广泛的材料，如铜、金、铝、钛等多种金属。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L还具有高效率的设计和超低温腔室，以优化温度临界蚀刻和金属化工艺。此外,该单元还配备了多段磁化器,可提供多种提升和涂层技术,包括旋转涂层、喷涂涂层和电镀。TEL Indy-A-L带有几个安全特性，包括一个自动湿式工作台和燃烧室。借助TOKYO ELECTRON Indy-A-L高级蚀刻器/asher，用户可以以最少的输入和配置享受高级蚀刻功能。其表面处理和金属化能力为各种任务提供了更好的层覆盖和均匀性,包括半导体器件制造、MEMS制造、LED制造,甚至更先进的工艺。它的多功能性和准确的过程控制使其成为各种工业应用的理想解决方桉。