二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293622226 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是用于半导体器件制造的先进蚀刻设备。这种精密的系统旨在快速、有效地蚀刻各种材料，而且污染物极少。TEL Indy-A-L具有三阶段蚀刻工艺，包括等离子体、反应性离子蚀刻（RIE）和物理气相沉积（PVD）。第一阶段，材料暴露在高能等离子体中。这允许离子穿透材料，留下微观图样蚀刻到它的表面。第二阶段，RIE，允许不同的气体与材料相互作用，导致更复杂的蚀刻。在第三阶段,PVD将材料添加到预定的区域,从而实现更高级别的控制和自定义。这种多功能性使得TOKYO ELECTRON Indy-A-L适合一系列的Advanced Packaging和MEMS（微机电系统）工艺。它的占地面积很小-尺寸仅为75厘米x 105厘米（宽度x深度）,因此可以在任何现有生产线中放入指定区域。该设备还具有低热预算设计，这意味着其温度在运行过程中保持在较低水平。Indy-A-L还具有专用的边缘收费控制（ETC）机器,可在零件边缘进行精确蚀刻。该工具还配备了上臂机器人护臂和离子束源，两者都确保过程安全进行。最后，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L与多种分析工具兼容，包括SEM（扫描电子显微镜）和XPS（X射线光电子光谱）。这样可以方便准确地测量蚀刻在材料上的特征。总之,TEL Indy-A-L是一种精密的蚀刻资产,具有多种功能,非常适合半导体器件制造行业使用。它设计多种多样,占用空间小,而且具有先进的分析工具,因此对于希望以高精度生产高质量元件的公司来说,它是一个非常宝贵的工具。
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