二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643254 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L etcher/asher是半导体製造过程中的一种专用装置，从硅晶片中除去不想要的氧化物和多硅层。这一过程使得晶体管和其他半导体器件的制造成为可能。TEL Indy-A-L机器设计为在小晶圆尺度上进行高效的RIE（反应性离子蚀刻）和灰化。它具有多频射频（RF）发生器，有助于产生高达150毫米晶圆大小的高效处理。RIE过程通过分解晶片表面上的原子并生成电离的等离子体羽流来清除晶片中不需要的材料层,该等离子体羽流以最小的损伤快速准确地去除表面。TOKYO ELECTRON Indy-A-L也有独立加热元件的多室设计，可以配置为最佳地处理需要不同加工温度和化学材料比的晶圆。此外，该机兼备加速化学灰化工艺和集成干蚀气体输送系统，可实现不同角度的蚀刻角度和由此产生的深度。此外，Indy-A-L设计具有智能自动匹配能力，自动调整射频频率和能量以获得最佳效果。它还具有多级等离子体深度控制功能，允许在一次操作中完成多次蚀刻过程以精确。这包括背面离子源特性，可用于去除或蚀刻背面涂层。这些特性为各种半导体应用提供了高效可靠的蚀刻工艺。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L 蚀刻器/asher是制造半导体器件结构的可靠、高效、准确的器件。
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