二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643265 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一种创新的半导体器件蚀刻器/asher。这款多合一设备将蚀刻和灰化功能整合到一个紧凑的单元中。TEL Indy-A-L除了体积小巧外,还提供精确控制、出色的系统性能和强大的安全功能。TOKYO ELECTRON Indy-A-L支持热氧化物蚀刻、氧化物图样蚀刻和氧化物面膜剥离，以及退火、烧结和回流。它可以容纳三组尺寸不超过6英寸的基板。此外,其先进的工艺控制功能还允许优化蚀刻和灰化性能。Indy-A-L在功能强大的基于Windows的HMI软件上运行,该软件具有大型、用户友好的触摸屏和易于进行的过程导航。它还提供自动化、集成的过程控制和配方管理功能,以实现简单、一致的操作。其直观的菜单单元提供了对其所有蚀刻和灰化过程的完全控制。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L也拥有令人印象深刻的安全特性阵列。利用其内置的安全机器，可以监控其工艺条件的稳定性，防止任何危险工艺出现问题。它的多重安全联锁进一步保护了工具附近的人员和机器。总体而言,TEL Indy-A-L在小巧、用户友好的软件包中提供了可靠的蚀刻和灰化解决方桉。它具有先进的硬件、HMI软件和强大的安全特性,是半导体器件制造和基板蚀刻/灰化解决方桉的理想选择。