二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643316 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L，又称蚀刻器或asher，是一种为制造高品质微电子器件元件而设计的先进蚀刻设备。该系统是一个全面的蚀刻制造单元，具有先进的特点和功能，确保严格控制的工艺参数和高水平的制造成果。TEL Indy-A-L机器具有模块化体系结构,使用户能够根据其特定应用程序的要求轻松配置工具。它配备了两个独立的石英器皿室，并配备了自动石英加载装置，这意味着用户可以快速高效地加载和卸载晶片。腔室具有"Platen Auto Loading"机制,可自动将晶片从一个腔室移动到另一个腔室,以获得最佳和可重复的工艺结果。资产还包含惰性大气发生器，确保蚀刻过程的安全和清洁环境。TOKYO ELECTRON Indy-A-L可以配置不同类型的等离子体和RIE源，甚至可以与多个源结合，允许同时蚀刻多个晶圆类型。Indy-A-L还支持流程参数自动化和数据采集，通过使用Etch-NetTM Suite来监控和控制蚀刻过程。该软件允许用户控制流程速率、温度、压力等参数，同时还提供实时数据收集和日志记录。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L还具有三点智能控制模式，允许用户单击鼠标即可控制过程功率、蚀刻速率和均匀性。TEL Indy-A-L是一种先进的蚀刻技术，它保证了高技术设备的制造。该设备为用户提供微调和可重复的工艺结果以及高效的晶片装卸。TOKYO ELECTRON Indy-A-L还提供过程自动化和控制，以及实时数据收集和记录，为用户提供了对蚀刻过程的更大控制。Indy-A-L是一种高效的蚀刻系统，为用户提供最高级别的蚀刻结果和设备制造。