二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9394967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L蚀刻器是一种自动化的、完全集成的薄膜沉积和蚀刻设备。设计用于生产硅基半导体产品。该系统在精密蚀刻过程中具有均匀性和可重复性。它具有低温和真空环境，以提高蚀刻的质量和密度。该装置采用自动卡盘压力调节器，以确保每个蚀刻过程在选定的基板温度和压力下传递。它还配备了隔膜泵，以确保蚀刻过程中的真空是恒定的。这有助于确保电路板的完整性并增强最终用户体验。TEL Indy-A-L蚀刻器还设有大气压力控制机，有助于提高蚀刻速率，在蚀刻过程中保持平衡压力。这有助于减少在加工过程中损坏基材或蚀刻的机会。蚀刻机进一步具有主动漂移补偿、动态热调节、智能压力和速度控制等特点，均有助于优化提高蚀刻工艺精度。TOKYO ELECTRON Indy-A-L蚀刻器配备了创新的直接成像选择器（DIS），用于选择所需的蚀刻图样。它还设计用于与过程控制系统集成,例如TEL Industrial Solutions Manager （ISM）。这有助于对蚀刻过程进行实时监测，并确保其达到预期的结果。蚀刻器还具有一系列可选组件,如晶圆处理单元、气象密封件和射频密封件。所有这些组件都增加了工具的灵活性,并允许将其用于更多的应用程序。总之，Indy-A-L蚀刻器是一种完全集成的薄膜沉积蚀刻资产，具有极好的精度、重复性和可靠性。它配备了创新的直接成像选择器（DIS）和大气压力控制系统，使蚀刻过程的准确性和有效性得到提高。可选组件增加了灵活性,使模型可用于更广泛的应用程序。