二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9411635 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一种为了处理半导体底物而设计的蚀刻器/asher。它具有大量的特性，使其适合广泛的应用中使用。TEL Indy-A-L具有RIE（反应性离子蚀刻）工艺,能够将特征蚀刻到0.3 μ m,最大蚀刻速率为8,000nm/min。这种蚀刻工艺能够提供高精度的结果，并且有能力蚀刻硅、氮化零和掺氧硅等多种材料。它还具有独特的"倾斜"蚀刻模式,允许更高的长宽比。TOKYO ELECTRON Indy-A-L还包括一台车载高级扫描仪，包括自动对焦设备和功能强大的晶圆背面显示器。该监视器允许对晶片表面和背面进行高分辨率成像,从而使蚀刻过程与基板上的图桉化层精确对齐。Indy-A-L还可以与各种外部检查系统集成，进一步提高工艺的准确性和可重复性。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L具有高流量气体输送系统,具有令人印象深刻的气体控制灵活性,允许更多的蚀刻循环和配方。气体输送单元的最大流量为65 SCCM，使其能够快速处理大型基板。射流前进模块还通过迫使气体向外和远离晶片来防止气体进入腔室。TEL Indy-A-L具有强大的用户界面,允许轻松设置流程参数和更改配方。用户界面还提供蚀刻参数的实时监控，以及配方存储和召回。板载数据捕获和分析工具提供了数据的可追踪性，而板载SEM（扫描电子显微镜）图像和CD（临界维度）图表则便于过程和性能评估。TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一款先进且用途广泛的蚀刻器/asher机器,能够创建复杂的图样并提供精细的细节。其强大且易于调节的蚀刻功能使其适合广泛的应用和材料，而其功能丰富的用户界面和监控功能则确保了对过程的理解和严格控制。