二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591335 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一款高性能的蚀刻器/asher设备，旨在满足最先进的半导体技术应用的要求。该系统的可自定义平台提供了一套工艺功能，主要包括干式蚀刻、干式灰泥和湿式清洁。它非常适合各种应用,包括铜金属化的中间蚀刻、生产线后端加工、高级包装等。TEL Indy-A单元采用下游型蚀刻配置,主腔室由气候控制,以确保过程条件一致。它采用一系列电源选项设计,包括RF、DC和脉冲,使其能够满足各种参数的工艺要求。它还为配方优化和流程实施提供了高度的灵活性。TOKYO ELECTRON INDY A配备了可从主室侧面展开的多气源，并提供可变流量、多个远程胶囊和歧管选择等定制气体输送选项。这种组合产生了无与伦比的一致性和可重复性的高分辨率蚀刻过程。TEL INDY A包含一系列高级流程监控和安全功能,以确保按照优化配置文件运行。这包括先进的倒置过程配置，允许观察者快速诊断血浆生成机制，并对蚀刻室中可能出现的任何问题提供快速、更准确的诊断。此外，该机还具有最先进的实时传感器反馈控制机制，可对蚀刻速率、氧气浓度和温度等蚀刻控制参数进行高度精确的监控。Indy-A提供自动化选项,以确保在产品制造中具有更大的灵活性、准确性和速度。该工具还配备了专门的清洁资产，允许高水平的表面清洁。INDY A非常适合大批量生产,为用户提供卓越的生产效率和可靠性。