二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一种在半导体製造光刻阶段使用的蚀刻机。具体来说,TEL Indy-A用于通过蚀刻表面的一部分将详细的图样传递到基材上。TOKYO ELECTRON INDY A可从TEL R&D Tokyo获得,TEL R&D Tokyo是一家着名的半导体加工设备供应商。蚀刻设备以小尺寸提供高效、长期的生产能力。这使得该系统成为空间有限的半导体制造厂的理想解决方桉。该单元还与多种基材兼容，包括六英寸、八英寸和十二英寸晶圆。这种多功能性使得多级互连、光掩码、MEMS和其他复杂的微加工过程等应用程序能够以更高的精度完成。TEL INDY A利用Dry Etch （DE）技术，允许蚀刻更复杂的图桉。该工艺利用化学气相沉积（CVD）和化学机械抛光（CMP）进行预处理，以便在蚀刻之前制备和形成基材。这些预处理和后蚀刻工艺改善了附着力、平面化和表面光洁度。Indy-A的核心是它能够快速准确地蚀刻（擦洗）连续层。利用偏置电压加速蚀刻过程，以便以受控和可重复的方式最大化蚀刻速率。这样可以确保每个晶片每次都有统一和可预测的特征蚀刻。INDY A还配备了先进的安全功能，如供气按钮、油箱泄漏检测器、压力调节器和气闸传感器。这些特性确保所有废水都能安全地得到控制，最大限度地减少污染。TEL/TOKYO ELECTRON INDY A是一款可靠、高品质的蚀刻机，提供两全其美：当今的尖端技术，加上历史工艺的精确度和可重复性。它是任何希望扩大生产效率的半导体制造公司的理想工具。