二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9214145 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一款专门为半导体晶片的精确、高效和可靠处理而设计的蚀刻器/asher。TEL Indy-A蚀刻器具有高精度和可重复性,非常适合用于各种高级生产应用。最先进的工具具有先进的过程控制技术,具有角对角边缘定义、边缘追逐和检测功能以及高通量等离子体蚀刻技术。TOKYO ELECTRON INDY A配备了自动化的负载锁交换，导致污染最小，吞吐量提高。此外,它的低kV工艺窗口提供了快速蚀刻速率以及改进的外延层蚀刻速率。使用局部氧化硅（LOCOS）工艺，TOKYO ELECTRON Indy-A可以选择性蚀刻一层薄而均匀的绝缘层，意味着只有预定的区域暴露在蚀刻过程中。这种选择性蚀刻技术对于产生高度精确、非常精确的电子电路至关重要。支持LOCOS过程的有一系列功能,包括高级氧化控制技术（ACT）、高度先进的边缘定义功能、拐角保护和可定制的软件配方。凭借先进的自动化优势，INDY A具有快速、准确地蚀刻和清洗晶片的能力，结果的效率和均匀性无与伦比。TEL/TOKYO ELECTRON INDY A极精确且均匀，在整个晶圆表面的重复性<5%。它提供了各种各样的过程功能,从而获得了优异的效果。Indy-A还具有先进的Web表征系统（WCS）,允许客户轻松管理多个处理配方,从而提高产量并提高流程效率。此外，TEL INDY A配备了先进的流程监控、控制和反馈能力，实时向用户反馈数据。此信息允许操作员对过程进行实时调整，确保最终产品达到最高质量标准。