二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9284835 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A
ID: 9284835
晶圆大小: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一种自动电化学蚀刻沉积设备,设计用于各种工业生产线。该系统能够一致、准确地提供各种电镀、蚀刻和沉积工艺。它能够为生产线上的不同部件提供定制工艺,达到均匀的沉积厚度和质量。TEL Indy-A平台由微处理器供电,它允许用户访问各种参数并调整设置以适应组件和所需的过程。该单元有一个简单、直观的用户界面,用于优化自定义和控制,以实现所需的结果。它支持自动化流程,使操作员能够以最小的努力加快吞吐量,同时仍能实现高精度和可靠性。TOKYO ELECTRON INDY一台机器能够实现非常精确的电镀和蚀刻过程,得益于高功率的X-Y-Z电动级和晶圆夹紧力。这种特性的组合使得TEL/TOKYO ELECTRON INDY A工具实现了极其稳定和可重复的过程,具有优越的蚀刻速率控制和在大面积上均匀的厚度结果。此外,TOKYO ELECTRON Indy-A资产还配备了电化学阻抗光谱(EIS)装置,用于特殊剖析和监测蚀刻/电镀过程中的化学变化。Indy-A型号的定制版本配置性强,具有各种刀头组合、晶圆尺寸支撑、基板加热和温度控制,以及内置的安全参数,以确保最高级别的安全。此外,INDY A设备支持具有可定制设置的一步和多步过程,以及大衣沉积、湿蚀刻开发,甚至还支持用于校准和校正措施的软件。最后,TEL INDY A系统被设计为各种工业生产线的高效可靠的自动蚀刻/电镀解决方桉。用户友好的UI、精确的机动化阶段和晶片夹紧力,以及可定制的刀头和软件选项,使此蚀刻器/asher具有高度的可配置性,几乎适合任何生产需要。
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