二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9355273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是生产半导体器件的asher/etcher设备。它提供卓越的等离子体蚀刻和清洁功能，具有低温工艺窗口。TEL Indy-A系统有300 i和500 i两种型号，允许处理300 mm和500 mm基板。两种型号都有嵌入式CCD和X-Y扫描仪，为高效蚀刻提供精确的基板定位。TOKYO ELECTRON INDY A单元在植入兴奋剂方面也具有卓越的植入能力。它对低浓度基板的植入具有低电压操作。该机器有一个独立的加工臂，能够处理单晶片或多晶片运行，最佳效率高达每小时18+晶片。TEL INDY A工具与PECVD和ICP兼容，提供卓越的腔室清洁度。它利用触摸感应/定位机制和Chameleon 12 PECVD资产进行等离子体蚀刻，允许进行低温和高温处理。该模型设计用于任何尺寸晶圆的快速、精确蚀刻。Indy-A设备用途广泛,支持灵活性和定制。它提供"智能"功能来提高系统性能，如热监测、Web辅助和基板映射。该装置还提供低压和高压选项，以及真空和空气操作模式。该机器包括提供实时过程控制的集成软件。该工具还包括流程开发工具,如配方构建实用程序和自动诊断。TEL/TOKYO ELECTRON INDY A的特点是低成本、全自动操作，专为高效、按需生产而设计。此外,INDY A符合RoHS标准,旨在减少半导体生产对环境的有害影响。综上所述,TOKYO ELECTRON Indy-A是一种先进的asher/etcher资产,它提供精确、自动化的单晶圆和多晶圆运行处理,并具有卓越的工艺能力。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A具有低成本、柔性元件的高性能效能,旨在以最小的环境影响实现精密蚀刻。