二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293634371 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款为满足半导体制造业的蚀刻/灰化需求而设计的蚀刻/灰化设备。它是一个快速、经济高效的系统，提供精确的蚀刻深度控制，提高吞吐量和稳定运行。TEL INDY B L提供了一系列功能,包括可编程的温度控制、气流控制、压力控制,以及五种预定义的蚀刻/灰分配方,可针对不同的晶圆尺寸和器件工艺进行设置。TOKYO ELECTRON INDY B-L是利用静电卡盘（ESC）和脉冲直流等离子体（PDP）能力的全尺寸腔室单元。ESC用于在蚀刻/灰分过程中保持晶片,而PDP提供了更有效地输送过程气体的额外功能。该机器还具有内部质量流控制器（MFC）和可选的外部MFC,可实现精确的离子能量控制,有助于防止晶圆断裂并实现卓越的产品质量。INDY B-L的阶梯式淋浴头设计提供垂直方向的均匀反应。它还提供了使用各种蚀刻/灰分配方的灵活性,这些配方可以针对不同的晶圆大小和设备过程进行编程。这些配方也可以针对压力、温度、总压力或范围进行调整。TEL Indy-B-L还提高了生产率,提高了吞吐量,缩短了周期时间,提高了晶圆产量。Indy-B-L还为晶圆表征提供了集成的EGA/FIB端口。双EGA/FIB端口可用于分析蚀刻/灰分过程中的反应压力和温度条件,以及评估蚀刻/灰分过程中当前蚀刻速度和去除量。INDY B L还提供了额外的组件，如污染和排气机，以帮助减少空气中的颗粒和气味，以及清除气体面板，以保护和压缩等离子体腔。其他功能包括集成的EGA/FIB端口连接、带有菜单驱动配方控制的操作员界面,以及保护用户和工具的安全联锁和警报。总体而言,TEL INDY B-L提供精确、经济高效的蚀刻/灰化,具有出色的可重复性、改进的吞吐量和最佳的工艺控制,使其成为半导体制造业的理想解决方桉。