二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637531 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是为半导体器件制造而设计的蚀刻器。这台机器的设计目的是以最小的热效应对样品材料进行精确的蚀刻。利用高精度蚀刻机构从样品表面去除材料。该蚀刻器具有高度的精确度和可重复性，使其成为从半导体基板上去除薄膜的理想工具。TEL INDY B L能够使用不同的蚀刻技术进行蚀刻，以满足各种要求。该设备由两种蚀刻工具组成，一种是P.C.E.T（等离子体化学蚀刻工具），另一种是V.E.E.T（真空蚀刻蚀刻工具）。P.C.E.T用于化学蚀刻，并配有等离子体火花发生器，用于更精确的蚀刻控制。V.E.E.T用于真空蚀刻。该工具配有可调压力系统，以精确控制腔室内的压力。TOKYO ELECTRON INDY B-L也配备了先进的监控单元。这台机器不断监测诸如压力、温度和压板电压等蚀刻参数。它还包括在蚀刻过程中产生样品图像的视觉显示。该工具可以连接到外部显示器,以获得其他显示选项。蚀刻器提供了一系列支持不同流程的功能和灵活性。它有一个自动加载程序,允许用户加载和卸载示例。它还有一系列工艺气体阀和样品制备升降机，可以方便地将样品提升到腔室中。INDY B-L设计用于提供一致的蚀刻结果,对样品的热效应最小。它具有温度控制资产，在蚀刻过程中保持一致的温度。蚀刻器还具有自动循环传感器,用于监视蚀刻周期的进度,并提醒用户蚀刻速率或温度有任何重大变化。TOKYO ELECTRON Indy-B-L被认为是用于半导体器件制造的可靠的生产设备。它的灵活性和各种功能使它能够处理各种流程的需求。高级监视模型可确保一致的结果,并且自动循环传感器会提醒用户蚀刻条件的任何更改。其性能和可靠性使得TEL INDY B-L成为在半导体器件上蚀刻复杂特性的理想工具。