二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643318 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是为半导体制造领域的应用而设计的先进蚀刻和灰化设备。TEL INDY B L专为高性能和高度通用的平台而设计，允许用户实现高吞吐量和高灵活性。TOKYO ELECTRON INDY B-L由一个水平安装的平台组成，该平台包含一整套组件，包括一个远离炮塔、一个ashing模块、三个独立的氧气、CF4和C3F8源、两个独立的底物源、两个独立的侧宽和一个单温室。此外，TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L还包括一台RF发电机和可选的浮动基板卡盘，允许用户根据自己的特定工艺需求定制系统。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L利用数位振荡器设计，允许精确的频率控制和快速的数位调谐。远端转塔的使用为每个流程提供了更快、更高效的机器设置，优化了用户的流程性能。利用独立的Oxygen、CF4和C3F8源以及双独立基材源可以进一步提高蚀刻工艺的质量。TEL Indy-B-L的双基材源允许使用同一单元同时处理低k和高k材料，从而不需要为每种基材类型配备专用蚀刻器。利用先进的温度控制和射频发生器，还可以进一步提高蚀刻工艺的质量和性能。TOKYO ELECTRON Indy-B-L的温度室是真空密封的，拥有先进的等离子体温度控制机，允许精密的温度管理和广泛的工艺应用。INDY B-L集成的大功率射频发生器设计，可实现精确的频率控制和快速的数字调谐，显着提高了用户控制蚀刻过程等离子参数的能力。总之，TEL INDY B-L是为半导体制造领域的应用而设计的先进蚀刻和灰化工具。INDY B L专门设计为高性能和高度通用的平台，允许用户实现高吞吐量和高灵活性。膨胀的组件套件，结合数字振荡器设计、先进的温度控制和射频发电机，使Indy-B-L成为低k和高k材料的理想蚀刻和灰化资产。