二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643320 待售
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ID: 293643320
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Load lock system
KAWASAKI W/T Robot
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种蚀刻器/asher，设计用于处理各种半导体制造中所需的各种表面处理工艺。这种高规格的蚀刻器/asher具有许多功能,可确保更快的处理速度和更高的精度。它具有独特的外围密封设备,有助于最大程度地减少工艺碎片,帮助减少因蚀刻喷嘴堵塞或其他工艺相关问题而导致的停机时间。这可以帮助用户获得前所未有的可靠性级别更高的收益。采用低压等离子体系统，消除脱气时间，实现更高的蚀刻速率。它还在广泛的工艺气体中支持干蚀刻、干条和湿条，并且与卤化物基蚀刻和等离子体条工艺兼容。蚀刻器/asher具有温度控制的基板支架,可确保均匀的蚀刻条件。这有助于防止热冲击并提高工艺稳定性。它还具有高精度的转移臂，减少了单元的停机时间，使其能够在保持安全工艺条件和缩短基板装卸时间的同时，准确地向上和向下拾取基板。TEL INDY B L还配备了射频驱动的平板等离子射频控制机，有助于确保所有蚀刻过程的同心性和均匀性。这有助于减少加工时间和基板变形。最后，这款蚀刻器/asher配备了高性能的清洁工具和质量保证资产，以确保加工过的基板符合最高标准。该模型的电子控制设备确保了整个过程的可重复性,使其成为确保对要求最苛刻的半导体应用进行高质量处理的理想工具。
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