二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L（Induction Etcher/Asher）是TEL专门为半导体制造开发的高精度真空加工机。这种蚀刻器/asher的设计目的是为了达到垂直蚀刻的效果，具有优异的工艺均匀性，低颗粒生成，以及高精度蚀刻。TEL INDY B L有利于极小规模结构的深度蚀刻，为高纵横比结构提供了良好的轮廓控制。TOKYO ELECTRON INDY B-L提供各向异性感应蚀刻（AIE）、各向同性感应蚀刻（IIE）和四面体蚀刻（TE）三种蚀刻。AIE提供高度定向（高各向异性）的蚀刻,非常适合形成陡峭的侧壁特征,而IIE和TE可用于创建缓坡轮廓。此外，可以对TE工艺进行调整，以提供精确的蚀刻控制，从而以非常精确的蚀刻精度制造出精确的三维结构。TEL Indy-B-L配备了多室环境，能够在同一台机器上进行蚀刻和灰化过程。蚀刻室采用低压微波驱动的感应线圈，设计用于防止材料在加工过程中意外电离。Ashing chamber use a reactive gas to before faster retching uniformity and higher throughputs.INDY B L还具有先进的蚀刻/处理控制设备,该设备利用基于GUI的用户界面与专有的工业级计算机系统耦合。此单元可通过直观的菜单驱动环境精确控制蚀刻结果。该机器还提供各种诊断、过程历史记录、数据传输和设置模板,以高效可靠地蚀刻/处理高质量的结果。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L是为最苛刻的半导体工艺而设计的高级蚀刻/灰化工具。该机提供出色的蚀刻均匀性、粒子控制和轮廓控制，并以强大的控制资产为后盾。INDY B-L装备独特，可精确、精确蚀刻小规模结构，可用于广泛的不同蚀刻和加工用途。