二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293809898 待售
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ID: 293809898
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Vertical furnace, 12"
Process: D-Poly
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是为制造半导体和集成电路器件而设计的蚀刻器/asher。它是一种高度通用、集成、快速响应的设备，非常适合浅沟隔离（STI）、高长宽比金属蚀刻、浅沟金属条纹和浅沟隔离（STI）以及深沟隔离（DTI）等多种应用。TEL INDY B L在半导体制造中采用了最新的最新技术。它具有TEL专有的清洁控制系统（CST）,用于控制蚀刻薄膜,从而减少缺陷,以及具有创新的样品传输概念的可靠样品传输单元（RST）,可实现高通量过程。TOKYO ELECTRON INDY B-L可以容纳不同的源材料，其Etch和Asher部分提供了广泛的灵活性和精确度。INDY B L可用于刻蚀浅沟金属条带，用于掩埋接触装置和图样线，浅沟隔离用于接触和层间金属化，深沟隔离用于装置隔离。蚀刻过程是高度可定制的,具有可选的蚀刻时间、温度、压力和气体流速。它还包括可编程的等离子体控制功能，以有效处理不同的薄膜。在其Asher部分，TEL INDY B-L的特点是集成冷却机和可变面积喷嘴，使反应物沿晶片表面均匀分布，集成防洪枪在晶片表面沉积均匀薄膜，防止重新沉积。Asher部分还具有触摸屏界面,可轻松设置和操作蚀刻和灰化过程。总之，TEL Indy-B-L 蚀刻器/asher是为制造半导体和集成电路器件而设计的一种集成的高性能工具。它具有一系列用于控制蚀刻薄膜的先进技术，以及一个简单设置和操作的用户友好界面。其高度可定制的蚀刻和灰化工艺使其非常适合半导体制造的各种应用。
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