二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293810872 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种用于半导体器件制造的高精度蚀刻器或asher。这种湿蚀刻工艺工具保证在任何半导体晶圆上对介电和金属薄膜进行超精确蚀刻。它能够蚀刻高达0.375 μ米厚的薄膜，可靠的轮廓精度± 0.2 μ米。TEL INDY B L对大量食谱具有较高的加工精度和高效率的操作。蚀刻过程大多是交互式的，由过程控制软件引导。其腔室内部设计为锐利且均匀地降低压力以进行一致的压力蚀刻。此外，该室还装有气体循环热交换器，以确保温度稳定。TOKYO ELECTRON INDY B-L具有低于± 2°C的晶圆温度均匀性,并具有两个现场监测蚀刻结果的观察口。晶圆旋转速度可在500 rpm至5,000 rpm之间，以进一步确保精确蚀刻。正面源包含一个产生高频电压的放大器，以诱导蚀刻化学的变化，用于精确的蚀刻控制。源还具有自动调谐功能,使其能够根据要蚀刻的材料和蚀刻条件自动优化源参数。TEL Indy-B-L的特殊安全特性包括紧急通风阀、集成滴盘以及内置酸收集和中和系统。总体而言，它为制造半导体器件提供了极其可靠、经济高效和准确的蚀刻工艺。