二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293825595 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种蚀刻器/asher，设计用于广泛的蚀刻和灰化过程。它是一种可用于实验室和生产应用的蚀刻器/asher。该装置由控制器、气柜、蚀刻室和夹具组成。气柜包含将用于蚀刻和灰化过程的气体，并通过夹具与腔室相连。控制器容纳数字和模拟输入/输出电路,并包含可针对蚀刻和灰化过程进行调整的参数。温度、压力和其他条件的参数可以调整以创建特定应用程序的精确蚀刻或灰烬。在蚀刻室内，既可以使用湿蚀刻，也可以使用灰化工艺。对于湿蚀刻，湿化学物质用于在金属或半导体材料的表面上产生蚀刻。湿蚀刻过程中使用的化学物质通常是卤化氢，如盐酸和氢氟酸。在灰化过程中，干燥蚀刻过程使用物理和电侵蚀来蚀刻材料表面。干蚀刻过程使用氟碳气体，如CF2和富氧等离子体。TEL INDY B L具有多种功能。该设备可用于蚀刻单个基板上的单层或多层。它还具有在不同脉冲条件下进行蚀刻的能力。该装置有内置夹具和多层蚀刻的可移动支撑框架。它还包括对蚀刻深度和端点的连续监测系统。此外,还提供多种蚀刻室尺寸,允许大面积加工和灵活的蚀刻速率。最后，TOKYO ELECTRON INDY B-L具有众多的安全特性。其中包括多级锁定控制、工艺前后自动清除蚀刻剂以及外部互锁系统。所有这些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L成为可靠、安全的蚀刻和灰化系统。