二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9137329 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种蚀刻器，或称为asher，专为半导体工业制造晶片而设计。它用于将氧化物或其他材料转移到晶片，允许用户精确定义这种材料的图样。TEL INDY B L能够在自动化环境中处理多达8个8"晶片或多达16个4"晶片。TOKYO ELECTRON INDY B-L的蚀刻工艺使用DRIE（深反应性离子蚀刻），一种将氧化物以高速率转移到晶圆的技术。这种蚀刻方法提供了广泛的工艺灵活性和精密控制，以满足半导体制造工艺的要求。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L配备了高级自动处理器功能，用于指定氧化物沉积和蚀刻条件。这样可以根据用户的需要进行高速过程控制和调整。Indy-B-L由晶圆传输机构、晶圆支架、高频微波发生器、安全互锁、供气设备等部件组成。它是为高性能而设计的，包括了真空室以尽量减少暴露于氧气，以及用于激发氧气分子和与其他化学物质产生反应的高频发生器等特点。INDY B L也有多种安全功能，旨在保护操作员，以及该地区的其他人。这些安全特性包括氧气传感器和互锁系统，防止机组在氧气水平超过预定阈值的区域运行。除了蚀刻能力外，TEL INDY B-L也有吸引人的设计。蚀刻室的外形尺寸很小，采用多种材料制成，旨在显着降低噪音和最小化振动。整个单元设计方便安装，与TEL Service Net LN2机兼容。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L为许多现有和新兴的应用提供了可靠的蚀刻解决方桉，使其成为任何半导体制造工艺的通用选择。其先进的特性、安全措施和吸引人的设计使其成为各种应用的理想蚀刻工具。