二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9140988 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款全自动蚀刻器和asher,它利用最新的最新技术提供精确的半导体处理结果。与传统的手动蚀刻方法不同，TEL INDY B L拥有先进的控制系统，能够对温度、化学浓度、气流等参数进行精确调整，以保证清洁、优质的蚀刻。TOKYO ELECTRON INDY B-L凭借其高效的晶圆清洗和蚀刻能力，非常适合处理最先进的半导体基板，广泛应用。TEL Indy-B-L具有板载加工机柜,可用于蚀刻过程。这个柜子配有气体协调旋钮，用于设定准确的压力、温度、浓度和流量，以达到清洁、高质量的效果。集成真空泵可有效地将气态化学物质从蚀刻工艺室中排出。采用激光干涉仪测量晶片厚度，并相应调整气体参数，实现最大表面精度。为了确保精确的蚀刻结果，TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L配备了两个加热元件，在整个蚀刻过程中提供完全均匀一致的加热。为了达到最大均匀性,上部加热元件具有精确定义的气隙,即使在整个晶圆表面积上也能保持所需的温度。INDY B L还配备了智能热监测设备，以复杂的细节监测加热变化。为了保持安全的环境，TEL INDY B-L包括一个高性能的干气净化系统，能有效去除空气中的杂质，允许安全和干净的蚀刻。双密封门可防止任何有害气体化学物质逃逸，同时确保最大程度的安全和清洁。此外，一个排气安全装置检测到任何快速的压力上升，提供立即缓解，以保护单位免受潜在的伤害。INDY B-L运行在一台具有强大数值控制工具和数据分析功能的高性能、多层CPU计算机上。它链接到一个用户友好的显示屏,允许方便的参数编辑、实时监控以及对所有蚀刻和灰化过程的完全控制。资产还配备了故障安全自动关机协议，确保机器在检测到任何违规行为时自动关机。TOKYO ELECTRON INDY B L结合先进的控制系统和先进的吹扫技术，是寻求半导体蚀刻和灰化工艺精度和可靠性的用户的首选。