二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9176040 待售
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ID: 9176040
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Vertical MLD AlO/HfO furnace, 12"
Process capability: Al203 and Hf02
Software revision: 6.10R001 (latest version)
Control type: Waves
Com module version: G607R01-A9990000
Dual FOUPS
(16) FOUP Stackers
Options: N2 Load lock, Low temp heater
Includes:
Cabinets / Units / Controllers:
Furnace cabinet
Power supply unit
Control unit
Main controller (WAVES)
Temperature controller
Cassette and wafer handling automation:
Auto tube shutter
Boat elevator with boat rotation mechanism
Wafer load automation
Load port system
Cassette load automation
(16) FOUP Stackers
MLD AlO/HfO Specific option:
Integrated gas system for AlO/HfO process:
Purge N2 gas line
Vaporizer unit for TMA precursor
Vaporizer unit for TEMAH precursor
Ozonizer unit
N2 Load lock:
O2 Density monitor in the loading area
N2 Gas system
Low temperature heater (VMM-56-104)
Vacuum foreline configuration with stainless steel manifold
2nd Gas Box
Set of AlO/HfO quartzware
System options:
Ionizer
UPS
Gas detectors:
TMA
O3
HCL
TEMAH
Octane
Includes:
Manuals
Currently installed
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种通用的蚀刻/asher仪器，用于制造半导体。它旨在提供出色的基板平面性和出色的形状重复在蚀刻和灰化过程。TEL INDY B L采用独特的电化学蚀刻设备，精确控制蚀刻和灰化率。该系统利用电源盒控制电流密度，并利用液位感应装置在蚀刻/灰化过程中保持恒定液位。因此，TOKYO ELECTRON INDY B-L提供了优越的蚀刻和灰化产率。INDY B-L还具有内置冷却装置,可提供更快的蚀刻速率,以及坚固的设计,以确保设备的卓越寿命。TEL INDY B-L还拥有一个负载锁定室，能够在蚀刻和灰化过程中精确控制基板温度。该腔室还可确保对基板进行精确的微清洗，消除污染物，提高基板的新鲜度，用于蚀刻和灰化工艺。INDY B L具有先进的真空机，可进行深亚微米蚀刻。此工具还可确保准确维护蚀刻和灰化率,从而实现更高效的过程控制。此外，TOKYO ELECTRON Indy-B-L促进了均匀试剂在底物上的沉积，有助于在蚀刻和灰化过程中提高工艺产率。TEL Indy-B-L还包括一个内置的粒子装载机，使基板能够快速准确地加载到蚀刻/asher机中。装载机允许快速形成真空,从而实现更快的蚀刻和灰化过程.此外，TOKYO ELECTRON INDY B L拥有先进的自动电化学溷合资产，可确保精确控制蚀刻和灰化率。该模型在蚀刻和灰化过程中准确保持pH平衡，确保底物和试剂之间的最佳反应速率。总体而言，Indy-B-L是一种先进的蚀刻/asher仪器，具有极好的蚀刻和灰化产量。其独特的设计、精确的控制以及高效的装卸功能，使其成为制造半导体的理想解决方桉。
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