二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9235796 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种蚀刻器，又称asher，用于微电子制造。它是一种先进的蚀刻设备，能够生产具有精确几何形状的高质量设备结构。它具有高通量能力，可加工具有多种工艺化学性质的薄或厚基板。TEL INDY B L配有化学气相沉积（CVD）室，使氧化物和氮化物的蚀刻能够精确精确。该系统设计用于薄箔、硅片、刚性面板等多种基板。TOKYO ELECTRON INDY B-L拥有先进的用户界面和直观的七英寸液晶触摸屏，让用户可以快速、轻松地输入工艺配方。此外,该装置还具有可靠的轨道机,可确保晶圆的精确传输.TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L适用于化学机械抛光（CMP）、浅沟隔离（STI）、金属闸蚀刻等蚀刻应用。该工具可以处理不同宽度和深度的通风孔和沟槽，以及小至0.2微米的蚀刻线宽。此外，TEL INDY B-L结合了通过RF ICP（感应耦合等离子体）源产生的高性能等离子体，输出范围从100 W到1.2 kW。此外,INDY B L还具有多区域资产,旨在帮助在不同区域中加工不同的材料,同时利用优化的工艺参数。它还附有双室批刻的四室处理模型。该设备拥有经过优化的气体供应和输送系统，能够快速排出工艺化学物质，从而缩短了加工时间。TOKYO ELECTRON Indy-B-L具有一系列操作和生产保证的安全特性。它配备了一系列的监视器和传感器，如压力、温度、流量和掩模温度监视器，以及腔室压力监视器，以确保过程的稳定性。此外,TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L配备了专用的ESD（静电放电）装置,可保护电路免受ESD引起的损坏。总之，TEL Indy-B-L是一款高度先进的蚀刻机，具有出色的用户界面、宽广的基板兼容性、可变等离子体输出以及坚固的安全特性。它是CMP、STI、金属栅极蚀刻等微电子蚀刻应用的理想选择，可以产生精密的器件结构，精确度低至0.2微米。