二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9244878 待售
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ID: 9244878
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Diffusion furnace, 12"
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是半导体工业的高性能蚀刻器/asher。主要用于背面研磨、锥形蚀刻、地形处理、背面垫片蚀刻等关键应用。它可用于半导体晶片的各种稀释工艺，如TEM/FIB样品制备、样品研磨、背面垫片蚀刻、表面图样加工、生产线后端加工等。该机精度高，双工区大，蚀刻时间快。TEL INDY B L 蚀刻器/asher配备了一个干蚀刻级联图表，这是由TEL开发的全自动工艺。此过程提供了卓越的过程控制、改进的灵活性和成本节约。它还配备了一个综合流程监测系统，确保所有流程在最佳条件下运行。该系统监控压力、温度、蚀刻速率和定时，以保持最佳状态。TOKYO ELECTRON INDY B-L设计有一个宽敞的工作区，在蚀刻过程中为晶圆的操作提供了充足的空间。大工作区的设计是为了确保操作员可以在蚀刻过程中轻松移动或调整晶片。此外，该机能够处理最大平面尺寸为500毫米x 500毫米的大型基板。TEL INDY B-L的高速蚀刻能力使其适合处理多种基材和应用。例如,它能够为高吞吐量应用程序同时处理多个样本。它还具有激光辅助蚀刻功能，能够处理30纳米以下的特征深度，以及输出可用于定位缺陷和跟踪工艺性能的详细晶圆图。TOKYO ELECTRON Indy-B-L设计具有多种安全特性，如全封闭的不锈钢工作空间和集尘系统。这有助于确保用于蚀刻过程的清洁和安全的工作环境。此外，该机还设计了多种蚀刻气体控制功能，如流量监测仪、静压监测仪和温度监测仪。总而言之，INDY B L的设计旨在为半导体行业的广泛应用提供卓越的蚀刻性能。它能够提供高速、高精度和可靠的蚀刻工艺以及所有必要的安全预防措施。此外，自动化的过程控制使得它适合高吞吐量的应用。
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