二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9270215 待售
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ID: 9270215
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Diffusion furnaces, 12"
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种蚀刻器/asher，设计用于先进的半导体加工。它能够在直径不超过8英寸的晶片上精确蚀刻和曝光光刻胶。TEL INDY B L采用高纯度、冷法、等离子体蚀刻工艺和低压汽化蚀刻工艺，在先进半导体材料中产生高分辨率图样。TOKYO ELECTRON INDY B-L的蚀刻工艺利用了自成一体的专有高压蚀刻工艺，导致污染最小。蚀刻器对高纯度蚀刻气体和反应气体采用先进的喷射系统，以维持低等离子体压力和高质量的蚀刻工艺。TEL INDY B-L利用先进的气体注入系统控制等离子体参数，确保等离子体分布高度均匀，防止反应产物堆积。这种设备还允许针对一系列晶圆结构和材料精确控制和调整蚀刻配方。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L用途广泛，能处理硅化物、氮化物、氧化物和碳化物等多种材料。它还具有广泛的可配置蚀刻室大小和多种类型晶圆的基材。它还能够蚀刻任何形状和深度的复杂结构，如通风孔、触点、线条和沟槽。该机还可以处理高长宽比结构如门氧化物层。INDY B-L还提供了多种不同的控制选项，例如用于控制晶圆装卸的Load Lock设备，以及用于引导等离子体流动的晶圆挡板系统。它还包括一个CHCV控制单元,该单元可自动设置腔室压力和蚀刻速率,以及一个用于方便更换部件的滚出腔室门。该蚀刻器具有实时温度控制机，可用于监测晶圆温度并确保最佳蚀刻条件。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L是一款先进的蚀刻器/asher，旨在提供优异的蚀刻效果和精确的图样形成。INDY B L能够蚀刻高分辨率、低污染的细腻复杂结构。TOKYO ELECTRON INDY B L具有通用的功能集和自动控制功能,是满足任何先进半导体加工需求的理想选择。
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