二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394496 待售
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TEL （TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L）是一款为半导体制造而设计的蚀刻器/asher。它能够同时处理多达100个晶圆，具有很高的可靠性和可靠性。TEL INDY B L有各种各样的蚀刻工艺和应用，从浅沟蚀刻、深反应性离子蚀刻（DRIE）到蒸气蚀刻。利用变频相位电感耦合等离子体（ICP）实现蚀刻均匀性、选择性和蚀刻速率的优化。TOKYO ELECTRON INDY B-L还具有用于湿蚀刻和干加工应用的自动晶圆手柄，包括自旋冲洗干燥和晶圆对准。该机配备了用于精确端点检测的高精度端点检测设备，以及能够实现更高工艺产量的端点后擦洗系统。此外，该机器能够安全和精确地处理各种类型的反应容器的所有蚀刻过程。TOKYO ELECTRON Indy-B-L配备了主动和被动安全系统，以确保用户安全的最高水平，保护环境。机器提供了广泛的可编程警报和安全传感器，如紧急停止按钮，以检测任何不安全的情况。为了确保一致和可靠的结果，INDY B L被设计为全面的过程和单元监测。车载计算机不断监控过程条件，包括压力、温度等参数。该机还具有自动校正工具，可在需要改进过程控制时自动调整参数。INDY B-L是半导体制造的理想选择，由于其高质量和可靠的性能，无论是低批量生产还是大批量生产。该机设计方便维护和快速清洗，以尽量减少停机时间和增加整体吞吐量。
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