二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394500 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款功能强大且精确的湿蚀刻/asher。该装置是一种半批量湿蚀刻设备，设计用于精确控制蚀刻时间和溶液。它是一个全自动机器，允许精确的化学溶液和精确控制参数，如蚀刻速度和蚀刻速率。通过自动调整参数，TEL INDY B L可以提供精确的蚀刻结果，达到微米级精度。它非常适合表面工程应用，如晶圆加工、基板清洗以及光掩模磨损。TOKYO ELECTRON INDY B-L是完全自动化的，需要最少的使用者交互。它配备了自上而下的视觉检测系统，在蚀刻过程中提供精度和准确性。此单元还允许用户在执行实际蚀刻之前蚀刻某个区域并生成最终结果的预览。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L可以配置一系列蚀刻溶液，如氢氟碳化合物、洗涤剂溶液和高度蒸发溶液。该机还允许用户在高温、低温和高温蚀刻之间进行选择。TEL Indy-B-L配备了允许多级蚀刻的双室工具。这意味着用户可以用相同的一组参数蚀刻不同的基板，并允许他们从第一个腔室到第二个腔室运行不同的蚀刻技术。该资产还设计有种类繁多的蚀刻端口，从小到大，从薄到厚的基板。TOKYO ELECTRON INDY B L内置的安全特性使其成为敏感晶片和基材湿蚀刻的理想选择。它包括压力传感器、温度传感器和电平传感器,以保护工具和用户。此外，它还具有一系列故障转移恢复功能，如紧急停止、温度控制、高速防污控制等。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L是一款功能强大、精密的湿蚀刻工具，设计用于精度和安全性。其自动化特性、精密控制和安全功能使其成为表面工程和光掩模磨损应用的理想选择。