二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394956 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是用于半导体制造工艺的下一代蚀刻器/asher。它是业界领先的低成本解决方桉,提供卓越的吞吐量和晶圆一致性,有助于降低设备成本和提高整体盈利能力。TEL INDY B L 蚀刻器/asher利用先进的蚀刻技术和专有蚀刻源提供市场领先的性能。其稳健的设计基于可靠的单级CVD-PVD工艺，允许单个工具执行所有蚀刻、杂质去除、沉积和离子植入步骤，从而提高循环时间和更高的吞吐量效率。TOKYO ELECTRON INDY B-L特别适合低温等离子体蚀刻，反应时间快，蚀刻选择性高，均匀性高。该工具利用各种源气体、工艺溷合通道和集成烤箱对不同的轮廓进行编程，还能够对SiO2/SiN/Si3N4/SiON薄膜进行精确的金属蚀刻。此外，其带有3维机器人臂的自动晶片处理设备确保了更快的晶片加载和切换，而其先进的数据记录系统促进了详细的过程监测和数据收集，以支持过程产量的提高。Indy-B-L 蚀刻器/asher也能够进行批处理，使得多个晶圆能够同时进行。它还设有一个自我消毒装置，有助于消除颗粒，防止污染。此外，它还配备了自动卡盘清洗技术，在清洁周期时间上允许更高的精度和生产率。总之，TOKYO ELECTRON INDY B L是一种先进的蚀刻/灰化机，提供高通量和工艺均匀性、效率和成本节约，以及优越的晶圆均匀性、精确度和精确度。