二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394957 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种利用先进技术建造的蚀刻和灰化设备，用于晶圆基板的精确和高效阵列。该系统旨在最大限度地提高蚀刻和灰化工艺的能力，特别是在半导体制造中。TEL INDY B L使用专用系统处理每一个蚀刻和灰化工艺，可以精确优化蚀刻参数，如气体压力和腔室温度，同时优化基板上目标的去除。这样就提高了基板的产量和电路的可靠性.该装置设有一个气体箱，在每种操作气体的最佳压力范围内运行，有助于确保均匀的气体分配，提高蚀刻选择性。TOKYO ELECTRON INDY B-L还配备了专用电极电源，设计用于稳定、均匀的输出，以提高等离子体均匀性。这有助于通过精细调整气体压力实现对蚀刻的精确控制，从而实现准确、统一的结果。此外，负载锁定机制可以防止蚀刻和灰化气体的溷合，同时允许简单方便的晶圆加载。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L还得益于内置的高级控制机器，该机器设计用于每个过程的精确温度控制和气体分布。这有助于最大限度地提高晶片的吞吐量,同时还能实现统一的端点控制以提高效果。涂层室内也有助于防止腐蚀过程中的污染，从而确保潜在的装置产量。此外，还在TOKYO ELECTRON INDY B L工具中加入了一种抗蚀剂剥离能力，从而能够有效去除底物中不需要的碳残留物。这样就提高了产品产量和功能，同时也减少了危险化学品的使用。最后，TEL Indy-B-L资产提供精密的蚀刻和灰化能力，旨在满足现代高精度晶圆行业的需求。此模型提供了一系列功能,可增强蚀刻和灰化过程的能力,从而提高产量和电路可靠性。