二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种SI多晶圆，高通量，批处理蚀刻器/asher设备，最大晶圆尺寸为75毫米。这种高科技系统在各种蚀刻/灰化过程（如MEMS、SOI、应力减轻、各向异性和镀铜）中提供卓越的性能。这个单元有一个专用的互锁控制机和一个PID控制的射频发生器，在处理步骤中有效地管理电源和压力设置。它配备了一个HMI（人机接口），允许调整设置、监测过程参数和访问相关的过程信息。TEL INDY B L的射频发生器提供了对功率、压力和频率的精确控制，允许极其精确和可重复的蚀刻/灰化过程。此工具还具有100个自动配方,以及每个流程步骤的数据记录和警报设置。TOKYO ELECTRON INDY B-L还有一个多柱设计，允许将多个晶片加载到同一个托盘中以提高生产力。这项最先进的资产进一步配备了TEL自己的Spatia Process Automation （SPA）算法，该算法精确校准模型对每个腔室和晶圆的工艺参数。通过减少对过程控制参数的人工干预,可以实现更准确和可重复的过程。此外，SPA算法还有助于减少人为错误和错误的可能性。总体而言,TEL INDY B-L是一种先进的多晶片蚀刻器/asher设备,可提供极其精确、可重复和高效的蚀刻/灰化过程。其集成的HMI、射频发生器、互锁控制系统和SPA算法为用户提供了极大地改进生产流程所需的所有工具。