二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9395067 待售
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ID: 9395067
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Gases: NH3, DCS, (SiGe), C2H4, HF, 20%F2 with N2, TiCl3 Liquid
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款蚀刻器/asher，旨在为广泛的半导体加工提供一致、高质量的结果。它配备了240毫米标准模式发生器（SPG） 4级电镀器，并可定制晶圆冷却器、模块化喷雾室、机器人手臂等升级。TEL INDY B L具有水平气流和干湿蚀刻相结合的特点.这允许用户在蚀刻过程中实现更高程度的选择性，以及更严格地控制蚀刻层的厚度。该设备还支持各种蚀刻气体，提供在一个步骤中蚀刻多个基板的能力。TOKYO ELECTRON INDY B-L也有Advanced Control Architecture（ACA），使蚀刻过程中的所有操作自动化。此功能可确保高精度和重复性,同时缩短处理时间。该系统为用户提供对流程参数和执行的精确控制。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L利用各种自动监控功能来保证最高质量的输出。这些包括气流自动控制、阻抗控制、压力控制和水密度控制。该单元也是直观的，用户可以快速熟悉其操作。TEL Indy-B-L提供完整的计算机控制和数据监控功能。它最多可以存储1,000种食谱，并且可以编程为运行高需求蚀刻过程而无需运营商干预。该机还为用户提供了优化的解决方桉，包括配方排序、表格批处理、光刻搜索、临界尺寸分析和标准偏差最小化。最后,Indy-B-L提供了广泛的安全功能,包括自动防火工具、氮气净化资产和与安全相关的自动警报。确保正确、安全地使用模型。所有这些功能,加上其全面的服务和维护选项,使TEL INDY B-L成为寻求可靠和高质量蚀刻结果的用户的理想选择。
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