二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9398278 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种最先进的蚀刻器或asher，用于半导体制造。该设备的设计有助于以干净、一致和高效的方式进行蚀刻或灰化。它被编程为处理各种基板，如各种金属、聚合物，甚至是单壁和多壁碳纳米管。TEL INDY B L利用物理和化学蚀刻的综合优势，从而提高了整体通量和产量。设备的核心是其专有的等离子体室，采用双缝设计，创造出电场和磁场均匀的场。为了进一步优化工艺，TOKYO ELECTRON INDY B-L配备了主动深度控制，从而能够精确控制蚀刻深度。这样可确保仅去除所需的物料,并消除任何底切或表面残留物。该系统能够在高温和高压下运行，非常适合切割、剥离、制图和其他精细操作。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L还配备了可靠的安全功能，如发生事故时的报警单元和紧急关机。Indy-B-L有一种活性气体输送工具，可以对室内的反应性气体进行加压和扩散，以确保均匀蚀刻，减少污染。为了进一步减少污染，该资产采用了先进的空气净化模型，以清除挥发性有机化合物和其他空气污染物。其他特点包括自动对准、基板输送和温度控制，确保了高质量的均匀蚀刻和操作。该设备还具有作业控制软件,可为用户提供有关配方设置、灰度处理结果和流程日志的详细信息。此软件易于操作,可用于优化生产效率。总体而言,TEL INDY B-L是一种高级蚀刻器/asher,可提供一致、高质量的结果。它配备了一系列功能，以帮助减少污染和提高生产率，使其成为半导体制造的可靠和经济高效的选择。