二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402684 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款先进的蚀刻器/asher设备，使用户能够快速蚀刻和粉刷晶片和平板显示器。该系统使用超高精度成像技术来提供一致、高质量的蚀刻和灰化结果。它采用高级级单元、频率稳定的气流、洗涤器和其他组件的组合，以确保晶圆和平板显示器被完全蚀刻和粉刷。TEL INDY B L蚀刻机/asher机有两个腔室，一个主腔室和一个排气腔。主室配有5轴扫描级，排气室设有气体洗涤器。这可以处理多达200毫米的dia。晶片,并且能够一次处理多达99个步骤。该工具利用压力谱控制资产,在制造过程中监视腔室内最多32个压力点,并针对任何不规则性进行调整。该模型还利用频率稳定的气流来减少蚀刻和灰化过程的方差。通过稳定气流，蚀刻器/灰化器设备能够实现卓越的均匀蚀刻和灰化效果。此外,该系统还设计为使用GCF（气态冷凝流）装置,以减少因干蚀刻不均匀而造成的损坏。TOKYO ELECTRON INDY B-L蚀刻机/asher机有几个特点，使得它非常适合处理晶圆和平板显示器。它具有可调节的转速，刀具最多可支持384个驱动器。此外，它还具有集成真空资产，可确保每个晶片均匀地暴露于蚀刻和灰化气体中。这使得TEL Indy-B-L能够轻松处理极其精致的部件。总体而言,TEL INDY B-L 蚀刻器/asher模型是一种功能强大且用途广泛的蚀刻和灰化晶片及平板显示器工具。该设备结合了先进的成像技术和频率稳定的气流以实现高精度的结果，其可调的转速和集成的真空系统使其非常适合细腻的零件。