二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402686 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是为半导体应用而设计的高端蚀刻/灰化设备。TEL INDY B L拥有10升的大容量,提供同类产品中最高的吞吐量。因此，可以实现更快、更高的收益率。TOKYO ELECTRON INDY B-L由精确控制系统提供动力，该系统具有特殊的样品处理算法，可以控制温度、功率和其他参数，以确保精确蚀刻和灰化直径达150 mm的晶片。TOKYO ELECTRON INDY B L也提供了一系列能最大限度地发挥其潜力的高级特性。其中包括用于精确蚀刻和输送高级气体的三级双喷嘴设计，以及用于安全的集成气体安全壳装置。气体安全器包括气体过滤器、压力控制阀和洗涤器，以确保气体的安全输送。该工具还具有集成激光辅助对准和高度调节资产，提供精确的晶圆蚀刻角度和均匀性。Indy-B-L的内置软件提供了蚀刻/灰化过程的自动化和控制。其先进的特点允许在蚀刻过程中精确控制气体浓度和Z轴压力。此外,该软件还具有监控和分析蚀刻质量的工具。这允许用户通过分析和调整参数来优化生产率，以达到所需的结果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L拥有一系列远程操作功能,允许用户从任何位置控制模型。这包括对加热和冷却系统的远程控制、对蚀刻过程的监测以及食谱的储存。这样可以提高蚀刻工艺的效率,提高操作员的安全性。总体而言,INDY B-L是一种高端蚀刻/灰化设备,具有先进的功能,可确保高效、安全的运行。其快速的处理能力和精确的蚀刻结果使其成为满足半导体应用需求的理想选择。