二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9412423 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一种蚀刻器/asher，是一种用于从工件中去除某些材料的半导体制造设备。它主要用于加工硅片，但可用于一系列制造过程。TEL INDY B L模型的蚀刻器是一种使用等离子体蚀刻来高效去除材料如氧化硅、氮化硅或任何其他介电材料的抗蚀剂图样装置。这是通过激发惰性气体如氯、溴或氟产生等离子体来实现的，该等离子体产生与工件相互作用的离子，破坏材料的化学键并蚀刻掉任何不需要的材料。设备的纸张大小为6.2 "x 7.3",可重复精度为+/-0.1mm。它在硅片上的蚀刻速率为1.49µm/min，在石英基板上的蚀刻速率为0.76 µm/min。其温度控制范围为25-400°C。设备配置为允许工件的最高温度均匀度为+/-2°C,气体分布均匀度为+/-10%。TOKYO ELECTRON INDY B-L也设有冷冻泵站，真空控制范围为60-300 mT，腔室压力可设定为10-5 mP。腔室压力可根据蚀刻过程调节，例如对于深层蚀刻过程，需要在腔室中保持较高的压力。由于蚀刻机的现场监测电路，蚀刻过程也可以实时进行监督。TOKYO ELECTRON Indy-B-L etcher/asher是一种高度先进可靠的设备，用于处理多种材料，包括硅、石英、铜等材料。其原位监测电路确保该过程可靠和可重复，而其可调压力和温度能力使其能够广泛应用。